洁净室空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留

粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

2.空气洁净度等级

洁净室

及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表 3.0.1 确定。

表 3.0.1 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3 空气洁净 )

度等级

注：①每个采样点应至少采样 3 次。

 ②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

 ③根据工艺要求确定 1～2 种粒径。

 ④各种要求粒径 D 的粒子最大允许浓度 Cn 由公式(3.0.1)确定，要求的粒径在 0.1～5μ

m 范围，包括 0.1μm 及 5μm。

式中 Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3

)。Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。

N—洁净度等级，数字不超出 9，洁净度等级整数之间的中间数可以按 0.1 为最

小允许递增量。

D—要求的粒径(μm)。

0.1—常数，其量纲为μm。